美國 ALICAT 20 系列標(biāo)準(zhǔn)型氣體質(zhì)量流量計(jì)，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有 NIST 可溯源校準(zhǔn)證書。

可用于快速精確地測量過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度，適用于多種流量測控場合。

應(yīng)用及案例 

●  大學(xué)/研究所           ●  泄漏檢測

●  環(huán)境監(jiān)測                ●  真空行業(yè)及鍍膜

●  工業(yè)爐窯                ●  半  導(dǎo)  體

●  汽車制造                ●  光       伏

●  燃料電池                ●  計(jì)量校準(zhǔn)

●  過程工藝氣體測量

 

產(chǎn)品特色 

●  數(shù)字化產(chǎn)品

●  多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

●  可選高精度：優(yōu)于0.5%讀數(shù)

●  可測范圍廣，0.01~100%滿量程

●  響應(yīng)時(shí)間快，優(yōu)于10 ms

●  內(nèi)置98種氣體

●  可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲(chǔ)20種混合氣

技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求：非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類：內(nèi)置了98種氣體，請參考背面

            一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量      程：從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（詳情請咨詢）

測量范圍：0.01～100%滿量程

最大顯示流量：128 % 滿量程

顯 示 屏：帶背光燈按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式：同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精    度：± （0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）精度升級部分見左下角

            ± （0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）（可選）

累計(jì)流量精度：流量精度之外增加± 0.5 %讀數(shù)額外誤差

重 復(fù) 性：± （0.2 %讀數(shù)+0.02 %滿量程）

質(zhì)量流量溫度零點(diǎn)和滿量程漂移：0.02%滿量程/ ℃（從25℃開始）

質(zhì)量流量壓力零點(diǎn)和滿量程漂移：±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）

響應(yīng)時(shí)間：優(yōu)于10 ms （與流量相關(guān)）  

預(yù)熱時(shí)間：< 1 s

默認(rèn)標(biāo)況（STP）：25 ℃&1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）

工作溫度：-10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項(xiàng)）

溫度精度：± 0.75 ℃

工作濕度：0 ～ 95%，無冷凝

最大工作壓力：1 MPa 表壓（可選2 MPaG高壓系列）

最低操作壓力：如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80 KPa以上使用；

其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定

壓力精度：± 0.5 % 讀數(shù)（讀數(shù)＞1 Atm），或 ± 0.07 PSIA（＜1Atm）

最大進(jìn)出口壓差： 0.5MPa

滿量程壓損：參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率：數(shù)字信號(hào)40 Hz@ 19200波特率；

模擬信號(hào)：1000 Hz

屏幕刷新頻率：10 Hz

數(shù)字輸入/輸出信號(hào)：RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、

                     DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸入/輸出信號(hào)： 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出：質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號(hào)精度：在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓：9-24 VDC （如選4 - 20 mA或0-10VDC輸出，須為12 - 24VDC）

供電電流：40mA，額外加 40 mA（ 4 - 20 mA或0-10VDC輸出）

電氣接口：DB9M，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）：選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材    質(zhì)：302、303、304、316L不銹鋼、FKM、硅橡膠、環(huán)氧樹脂、聚酰胺、玻璃、硅、金、陶瓷  

過程連接：詳情參考壓損表

安裝方式： 對位置無要求

防護(hù)等級：IP40

認(rèn)    證： ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH、CSA （可選）

精度升級

量程為 0.5 SCCM - 6000 SLPM，

其中 10 SCCM - 20 SLPM 量程段，下述指標(biāo)升級：

質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）

質(zhì)量流量高精度 ± 0.5% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）

重復(fù)性 ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）

質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移 ± 0.01% 滿量程 / ℃（從 25 ℃開始）

± 0.01% 滿量程 / Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）

質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01% 讀數(shù) / ℃（從 25 ℃開始）

± 0.1 % 讀數(shù) / Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）

選項(xiàng)配件

●  標(biāo)準(zhǔn)性能

多功能數(shù)字顯示屏

顯示多種測量參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力

低壓損

無需預(yù)熱

Viton密封

8針mini-DIN電信號(hào)接口

標(biāo)準(zhǔn)圓形電源接口

RS-232多點(diǎn)式數(shù)字輸出

0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號(hào)輸出可選

內(nèi)置30種氣體可選

200:1量程可調(diào)比

NPT接頭

可測量從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量

有條件的終身質(zhì)保

 

●  可選性能

高精度

累加器

6針、DB9或DB15電信號(hào)接口

ProfiBUS數(shù)字信號(hào)輸出

RS-485數(shù)字信號(hào)輸出

4-20mA模擬信號(hào)輸出

第二種模擬信號(hào)輸出

TFT背光彩色顯示屏

遠(yuǎn)程顯示屏

遠(yuǎn)程TFT背光彩色顯示屏

丙烯酸絕緣涂層

EPDM密封

NeSSI本體

氧氣清潔

用于高溫環(huán)境的遠(yuǎn)程電子包裝

SAE接頭

VCR, VCO接頭

5VDC、12VDC、24VDC排氣量報(bào)警(過高或過低)

雙向流動(dòng)

額外標(biāo)定點(diǎn)

定制混個(gè)氣體（最多4種）

定制流量范圍

尺寸詳圖

 

                      

 

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尺寸連接

 

滿量程質(zhì)量流量計(jì)	滿量程壓損1（psid） 排氣到大氣中	外觀尺寸	連接接口2
0.5 sccm - 1 sccm	1.0	3.9''H ×2.4''W ×1.1''D	M-5 （10-32）（內(nèi)螺紋） （Buna-N表面密封至1/8''NPT內(nèi)螺紋）
2 sccm - 50 sccm	1.0
100 sccm - 20 slpm	1.0	4.1''H ×2.4''W ×1.1''D	1/8''NPT內(nèi)螺紋
50 slpm	2.0	4.4''H ×4.0''W ×1.6''D	1/4''NPT內(nèi)螺紋
100 slpm	2.5
250 slpm	2.1	5.0''H ×4.0''W ×1.6''D	1/2''NPT內(nèi)螺紋
500 slpm	4.0	5.0''H ×4.0''W ×1.6''D	3/4''NPT內(nèi)螺紋 （2000 SLPM 可選配1-1/4''NPT內(nèi)螺紋）
1000 slpm	6.0
2000 slpm	5.0	5.3''H ×5.2''W ×2.9''D
3000 slpm	7.1	5.3''H ×5.2''W ×2.9''D	1-1/4''NPT內(nèi)螺紋
5000 slpm	4.5	6.3''H ×5.6''W ×3.9''D	1-1/2''NPT內(nèi)螺紋
1、可選低壓損選項(xiàng) 2、與Beswick®，Swagelok®管，Parker®，表面密封，快接接頭和卡套轉(zhuǎn)接頭相兼容，也可以按照用戶需求與VCR，SAE接頭相兼容。

氣體編碼

 

* 混合氣體編碼為“800”，選項(xiàng)中須有具體混合氣體比例說明。

* 對于液體流量計(jì)和控制器，液體指純水，液體編碼為“900”。

* ALICAT非抗腐蝕流量計(jì)/控制器產(chǎn)品，可支持①類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量控制器產(chǎn)品，可支持①、②類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量計(jì)產(chǎn)品，可支持①、②、③類氣體。

* 未在表中列出的氣體，也可能被測控，具體請咨詢我們。