小型、輕量、高動(dòng)力的致動(dòng)器搭載自動(dòng)閥，閥體使用SUS316L不銹鋼。與以往產(chǎn)品相比，執(zhí)行器負(fù)荷大幅提高。自動(dòng)開 關(guān)部也實(shí)現(xiàn)了進(jìn)一步的小型化和輕量化。另外，在所有環(huán)境下都能安心使用的無油結(jié)構(gòu)。

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【適用氣體】

腐蝕性，毒性，易燃，超高純氣體（半導(dǎo)體）：NF3、SiH4、BF3、 SF6、Cl2、NH3、N2O、HCl、B2H6、CH3F、WF6等超高純氣體及混合氣體。

【特征 1】 成功削減約60%的死角空間，清潔性能，耐腐蝕性更出眾

① 氣體很難在閥體內(nèi)滯留，閥的主件不會(huì)受到功能損壞或腐蝕。

② 可保證氣體純度，對(duì)半導(dǎo)體品質(zhì)的影響降低到最低限度。

【特征 2】 Cv值0.4∽0.6

① 適用于液化氣的大流量閥門，也可用于壓縮氣體。是劃時(shí)代的產(chǎn)品！

② 進(jìn)出口螺紋及形式由客戶指定的規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)。

【特征 3】 采用特殊的平墊片

 ① 可減輕因扭力過大導(dǎo)致的墊片變形。

參數(shù)：